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Flexnake™ 采用市面上最为成熟和稳定的结构设计,专门为Micro Bump/ Cu Pillar的焊锡球测试而设计,同时也可以支持Pre-Bump以及其他微小Pad的测试。
拥有广泛的探针材料可以选择,由Cobra蛇形针到高性能的MEMS探针制作垂直式探针卡,使用MLO+双层Guide Plate设计,探针垂直于DUT从而支持Area Array或者Semi Array等大多数悬臂式针卡不支持的布局,Flexnake™最高可植入达30000根针,从而实现High Density,Multi Site 的晶圆测试。
多层聚酰亚胺薄膜线路(武汉公司专利产品) MLO的使用可以支持探针卡在高达150°C的温度下完成晶圆测试而不影响信号完整性和使用寿命。
平头Flat、尖头Point,圆头Radius 不同针尖形状
—易于安装,维护简单
—交期快,成本低
—较小划痕/落尘量 —Multi Dut 提供灵活性,可客制化程度高
Item | Probe spec. | |||
Probe type | Cobra Φ75 | Cobra Φ63 | Cobra Φ50.8 | Cobra Φ41 |
Probe material | P7 / P7+ | |||
Minimum pitch | 150㎛ | 125㎛ | 100㎛ | 80㎛ |
Recommended O/D | 150㎛ | 120㎛ | 100㎛ | 80㎛ |
Tip shape | Flat / Sharp / Round | |||
Contact force (@ OD 50㎛) | 5±2.5gf | 4±2gf | 3±1.5gf | 2±1gf |
Current carry capacity | P7 : 600㎃ | P7 : 500㎃ | P7 : 450㎃ | P7 : 350㎃ |
P7+ : 800㎃ | P7+ : 700㎃ | |||
Frequency |