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针对碳化硅功率半导体的晶圆级老化探针卡测试

新能源汽车和光伏,储能行业的发展,行业不断推出更高功率,更大电压的功率器件,其中第三代半导体中碳化硅芯片制作的MOS,IGBT等器件的需求越来越旺盛。

碳化硅器件最终将会被作为功率模组的一部分进行封装,而碳化硅芯片的稳定性至关重要,一颗碳化硅芯片的实效将会影响到整个模组的效能,所以目前针对碳化硅的晶圆级老化成为了一项必不可少的制程。

碳化硅 晶圆级别老化 探针卡
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