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MEMS 探针卡

MEMS Probe Card

垂直式探针卡一站式解决方案

微针拥有丰富的垂直式探针卡设计制造能力,由于垂直式探针的特性,进行晶圆测试时兼容更大的电流,更高频率,以及更好的信号和功率完整性等电学特性。

微针提供从模拟到PCB设计制造,探针卡组装的一整条解决方案。

探针种类:

应用领域 Application

特点 Features

Cobra 眼镜蛇探针组成的垂直探针卡

经典的Cobra设计垂直探针卡,自带形变量,使用多层陶瓷基板+双层Guide Plate设计,探针垂直于DUT,高达25000根针垂直分布,从而实现High Density,Multi Site, 高频,大电流晶圆测试。

自带弹性的MEMS Pogo Pin 垂直式探针卡

得益于微纳加工技术,Pogo Pin的直径能够缩小到半导体晶圆测试级别,由于其拥有稳定的Over Drive 行程,内置微型弹簧,可以提供稳定的针压,良好均匀的接触性能,精准的Alignment对位,使得Spring Type Probe在垂直探针卡中占据重要位置。

具有弹性的导线性探针垂直探针卡

导线探针在整个长度上都具有弹性,通常称为“针探头”。其中使用了一种特殊的高弹性钢丝,以实现探头本身的弹簧特性。由于其结构简单,当压力施加到探头上时,利用导线本身的弹性变形和恢复力产生形变从而提供测量弹性。相对于Pogo Pin, Cobra相对简单,在对位精度有更大特点。

 
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